Π£ΡΠ΅Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ· Π’Π΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ° ΠΠ²ΠΈΠ½ΡΠ»Π΅Π½Π΄Π° Π² ΠΠ²ΡΡΡΠ°Π»ΠΈΠΈ ΠΈ Π£Π½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ° ΠΠ»Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉΡΠ° Π² Π§ΠΈΠΊΠ°Π³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΠ»ΠΈΡΡ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΈ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π°Π²Π°ΡΡΠΈΡ Π·Π»ΠΎΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ Π² Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ ΠΊΡΠΎΠ²ΠΈ.
ΠΠ° Π΄Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ² ΠΊΡΠΎΠ²ΠΈ, Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΠ½ΡΡ Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΠ°. ΠΡΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠ΅Π±Ρ ΠΎΡΡΠ»Π΅ΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ² ΡΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π ΠΠ, ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΠΠ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½Π° ΠΏΠΎΡΡΠΈ Π΄Π»Ρ Π²ΡΠ΅Ρ Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΡΠ°ΠΊΠ°, Π° ΡΡΠΎ Π½Π΅Ρ. ΠΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎ Π΅Π΄Π΅ΠΌ Π½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Π΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½Π΅ΡΠ΅Ρ Π½Π°Ρ Π² Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡ Π΄ΠΈΠ°Π³Π½ΠΎΡΡΠΈΠΊΠΈ.

ΠΡΡΠΌΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ ΠΊ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Ρ ΠΊΡΠΎΠ²ΠΈ Π½Π° ΡΠ°ΠΊ – ΡΡΠΎ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΠΊΡΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠΏΡΡ ΠΎΠ»Π΅Π²ΡΡ ΠΊΠ»Π΅ΡΠΎΠΊ (Π¦ΠΠ). ΠΡΠΈ ΠΊΠ»Π΅ΡΠΊΠΈ ΠΎΡΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΎΡ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΡΡ ΠΎΠ»ΠΈ Π² ΠΊΡΠΎΠ²ΠΎΡΠΎΠΊ ΠΏΠ°ΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ°. Π’Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅, ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½Π°Ρ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ°, ΡΡΠΎΡΡΠ°Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΡΡΠ΅Π½ΡΠΌΠΈ, ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎΠ±Ρ Π½Π°ΠΉΡΠΈ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠΈΡΡ ΡΡΠΈ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠ»Π΅ΡΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΡΡΡ Π² ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π°Ρ . ΠΠ°ΠΏΠ°ΡΡΡΠΊΠΈΠΉ, ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΉ Π°Π²ΡΠΎΡ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΡΠΊΠ°Π·Π°Π»: Β«7,5 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ»ΠΈΡΡΠΎΠ²Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠ±ΠΈΡΠΊΠ° ΠΊΡΠΎΠ²ΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ Π²Π·ΡΡΠΈΡ ΠΊΡΠΎΠ²ΠΈ, ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΡ Π΄Π΅ΡΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠ»Π΅ΡΠΎΠΊ ΠΈ 35-40 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°ΡΠ΄ΠΎΠ² ΠΊΠ»Π΅ΡΠΎΠΊ ΠΊΡΠΎΠ²ΠΈ. Π’Π°ΠΊ ΡΡΠΎ ΠΌΡ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΡΠ΅ΠΌ ΠΈΠ³ΠΎΠ»ΠΊΡ Π² ΡΡΠΎΠ³Π΅ ΡΠ΅Π½Π° Β».
ΠΠ΅Π΄Π°Π²Π½ΠΎ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΠΎΠ΅ Π΄ΠΈΠ°Π³Π½ΠΎΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»ΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠ»Π΅ΡΠΎΠΊ ΠΎΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΊΠ»Π΅ΡΠΎΠΊ Π² Π»ΡΠ±ΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ ΠΊΡΠΎΠ²ΠΈ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ, Π² ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»ΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π±ΠΈΠΎΠΌΠ°ΡΠΊΠ΅ΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡ Ρ ΠΎΠΏΡΡ ΠΎΠ»Π΅Π²ΡΠΌΠΈ ΠΊΠ»Π΅ΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ Π² ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅, ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π°ΡΡΠΈΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ Π½Π° ΡΠ΅ΠΎΡΠΈΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ , Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΎΡΡΠΈΠ»ΡΡΡΠΎΠ²ΡΠ²Π°ΡΡ CTC Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΊΠ»Π΅ΡΠΎΠΊ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π½Π°ΠΉΡΠΈ Π² ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ ΠΊΡΠΎΠ²ΠΈ.
ΠΠ°ΠΏΠ°ΡΡΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΊΠ°Π·Π°Π»: Β«ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠΈΠΉ Π² ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΊΠ»Π΅ΡΠΎΠΊ Π²Π½ΡΡΡΠΈ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠΈ Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎ Π°ΡΡΠΈΠ½Π½ΠΎΡΡΠΈ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡΒ« Π»ΠΈΠΏΠΊΠΈΠ΅ Β»ΠΌΠ΅ΡΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΈΠΊΡΠΈΡΡΡΡ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΈΠΏ ΠΊΠ»Π΅ΡΠΎΠΊ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΡΠΈΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΡΠΎΠ΄Π²ΠΈΠ½ΡΡΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡ ΠΏΠΎ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠ΅, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΡ Π½Π΅ Π½ΡΠΆΠ½Ρ Β».

Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Ρ. Π£ΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ Π±ΡΠ»ΠΎ Π² ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠΈΡΡ 93% ΡΠ°ΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠ»Π΅ΡΠΎΠΊ Π² 5 ΠΌΠ» ΠΏΡΠΎΠ±Π΅ ΠΊΡΠΎΠ²ΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΈΠΌΠ΅Π»Π° 50 CTC. ΠΠ½ ΠΈΠΌΠ΅Π» 83% ΡΡΠΏΠ΅Ρ Π° Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π±ΡΠ» Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ Ρ 10 CTC. Π£ΡΠ΅Π½ΡΠ΅ ΡΡΠΈΡΠ°ΡΡ, ΡΡΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ ΠΊΡΠΎΠ²ΠΈ. ΠΠΎΠΌΠ°Π½Π΄Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΈΡ ΡΡΠΎΠ²Π΅Π½Ρ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΡΡ, ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Ρ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π±ΠΈΠΎΠΌΠ°ΡΠΊΠ΅ΡΠΎΠ².
ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΎΠΏΡΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ Π² ΠΆΡΡΠ½Π°Π»Π΅ Microsystems and Nanoengineering.
